O. Сколько значений можно получить

Дан массив из $n$ чисел. Сколько различных значений можно получить как исключающее «или» какого-нибудь подмножества элементов, включая пустое? Ответ выведите по модулю $10^9 + 7$.

Множество достижимых значений — это линейная оболочка над полем из двух элементов, где сложение и есть XOR. У неё есть базис, и если его размер равен $r$, достижимых значений ровно $2^r$: каждый элемент базиса либо берём, либо нет, и разные наборы дают разные значения.

Первая строка содержит число $n$ ($1 \le n \le 10^5$).

Вторая строка — $n$ чисел $a_i$ ($0 \le a_i < 2^{60}$).

Одно число — количество различных значений по модулю $10^9 + 7$.